【镀膜方法,镀膜方法PPT】

物理蒸镀法(PVD)的各种镀膜方法

〖壹〗 、物理蒸镀法主要包括以下几种镀膜方法：蒸发系：真空蒸镀：在极低真空环境下运作，能生成平滑的膜层 ，但均匀性可能受限
，孔洞是常见问题 。离子光束辅助蒸镀：通过引入离子枪提升膜层的细致度和强度，适用于对平整度有高要求的领域
。分子线蒸镀：在超高真空条件下专为单晶膜制备而设计 ，适用于高端电子设备。

〖贰〗
、物理蒸镀法（PVD）是形成薄膜的一种方法，在真空环境下的容器中通过特定手段使薄膜物质气化后附着在基板上 。此方法根据薄膜物质的气化方式分为蒸发系和溅射系。蒸发系中
，薄膜物质在加热后蒸发，然后在较低温度的基本表面上凝结成固体形成薄膜
。蒸发源包括电子光束加热、高周波诱导加热 、激光束加热等。

〖叁〗、在精密制造和光学领域 ，物理蒸镀法（PVD）犹如魔术师的手法
，通过在真空环境下施展其独特的镀膜艺术 。PVD主要分为蒸发
、溅射和分子线沉积三大类别，每一种方法都有其独特的魅力和适用场景
。蒸发系 ，以真空蒸镀（V.D.）为代表
，它在低至10-2到10-4帕斯卡的真空环境中运作，能够生成平滑的膜层。

〖肆〗、PVD镀膜主要有两种主流方式：真空蒸发镀膜和溅射镀膜 。本文将从定义 、基本过程
、分类比较以及真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜 、真空离子镀膜的特点等方面进行介绍 ，供朋友们借鉴
。

镜头镜片是怎么镀膜的

镜头的镀膜是根据光学的干涉原理
，在镜头表面镀上一层厚度为四分之一波长的物质（通常为氟化物），使镜头对这一波长的色光的反射降至最低。显然 ，一层膜只对一种色光起作用
，而多层镀膜则可对多种色光起作用 。多层镀膜通常采用不同的材料重复地在透镜表面镀上不同厚度的膜层
。

将溶液滴至镜片中心，利用镜片高速旋转的离心力 ，将溶液均匀的『『抛』在表面上。以现在的观点来看，化学镀膜的好处
，在于其设备投资低，因此它仍然是镀有机膜的一种常用且成本低廉的方法 。 物理镀膜法：化学制备具有费用低 ，操作容易的的优点
，但也相对的污染大，无法镀多层膜的缺点
。

尼康的ARNEO镀膜 ，专利号为JP2021012224
，是其最新的镀膜工艺。其原理是将颗粒直径极小的氟化镁颗粒放入光敏胶中，然后将不同浓度的气溶胶分别滴在高速旋转的镜片上 ，接着使用氙气灯照射
，使这些材料凝固，形成多层低折射涂层 ，从而制成了疗效显著的ARNEO镀膜 。在光学镜片上
，反射防止膜被广泛应用。

光学镀膜“真空溅射”和“离子镀 ”工作方法

〖壹〗
、在光学镀膜中，真空溅射和离子镀是两种常用的物理气相沉积（PVD）技术 ，它们都是在真空环境下工作，通过将目标材料的原子或分子转移到基板上
，从而形成薄膜
。

〖贰〗、常见的镀膜方法有真空蒸发 、真空溅射
、离子镀和离子辅助镀等。不常见的有分子束外延、脉冲激光沉积等 。真空蒸发技术最早出现于20世纪30年代，四五十年代开始工业应用 ，80年代大规模生产
，广泛应用于电子 、宇航
、包装、装潢等领域
。

〖叁〗 、真空蒸发镀膜：通过加热使材料蒸发，并在基体上冷凝形成薄膜。真空溅射镀：利用高速粒子轰击靶材 ，使靶材原子或分子溅射出来
，在基体上沉积形成薄膜 。真空离子镀膜：应用最为广泛，通过电场或磁场加速离子 ，使其轰击基体表面
，形成离子注入和薄膜沉积的双重效果
。

〖肆〗、离子注入机 离子注入机用于将掺杂剂材料射入晶圆表面，形成PN结 ，是晶体管工作的基本结构。系统包括气体系统
、电机系统、真空系统 、控制系统和射线系统 。射线系统是最重要的子系统
，由离子源
、磁分析器、加速管或减速管 、聚焦和扫描系统组成
。